Referenzen
REGALBEDIENGERÄTE FÜR 300MM WAFER-CASSETTEN (FOUPS)
Das RBG300 ist ein Regalbediengerät für die Lagerung von Transportbehältern für 300mm Wafer (FOUPs, SEMI-Standard E47.1) mit einer Kapazität von 832 Plätzen. Durch den modularen Aufbau können sowohl Länge, als auch Höhe an die lokalen Anforderungen angepasst werden, wodurch zusätzliche Kapazitäten geschafft werden können.
FLEXLIFT
Der FlexLift verbindet Transportsystemkomponenten über mehrere Etagen miteinander und befördert Transportbehälter für 300mm Wafer (FOUPs, SEMI-Standard E47.1) über einen maximalen Hub von 20m.
WAFER TRANSFER TOOL WTT300-M
Das Wafer Transfer Tool WTT300-M dient der manuellen Umlagerung von 12“ Wafern von FOUP A zu FOUP B. Der Transfer erfolgt stets mit allen vorhandenen Wafern. Je nach Konfiguration kann der Transfer mithilfe von Adaptern auch in andere 12“ Behälter erfolgen.
MANUELLES FRAME TRANSFER TOOL FTT200-M
Das manuelle Frame Transfer Tool FTT200-M dient der Umlagerung von 8“ Frames zwischen verschieden Transportbehältern. Die Mechanik des Tools wird rein manuell betrieben.
ENDEFFEKTOR FÜR 6-ACHS-ROBOTER
Der Endeffektor ist ein automatisch steuerbarer Endeffektor für das Greifen von Stückgut mittels ein-/ausfahrender Aktuatoren (Wellen). Je nach mechanischer Ausführung der Greiferbacken kann der Endeffektor auf verschiedenste Stückgüter angepasst werden.
OPTISCHES WAFERMAPPING
Mithilfe mehrerer gekoppelter Kameras und eines speziellen Beleuchtungssystems, ist es mit diesem System möglich die Wafer-Belegung einer größeren Anzahl an Slots (in diesem Fall ein Boot mit bis zu 168 Wafern) schnell und in einem einzigen Schritt zu erfassen.
OPTISCHE POSITIONSBESTIMMUNG
Autonome, frei bewegliche Systeme erfordern eine genaue Bestimmung ihrer aktuellen Position, um mit Objekten in ihrer Umgebung interagieren zu können. Dazu wird häufig kostspielige Sensorik eingesetzt. Anhand einfacher 2D-Codes lassen sich Objekte und markante Positionen nicht nur identifizieren, sondern ihre relative Lage auch bis auf wenige zehntel Millimeter genau bestimmen.
OPTISCHE PANELLAGEBESTIMMUNG
Die Panel Lagebestimmung ist ein optisches System für die Lagebestimmung von Panels bekannter Größe, das im Wesentlichen aus 2 Kameras, 2 telezentrischen Objektiven, 2 Leuchten und der Auswertesoftware besteht, die auf Standard Windows-Rechnern ausgeführt werden kann.
