Lösungen

MPHS LINEAR STOCKER 

Der High-Speed-Stocker ermöglicht die vollautomatische Lagerung von FOUPS, Kassetten oder Retikelboxen. Das System ist für maximale Packungsdichte und flexible Reinraumpositionierung ausgelegt.
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LONG TERM STORAGE

Unser Long Term Storage Systeme bieten eine umfassende Lösung für die automatisierte Lagerung von FOUPS, Kassetten, Reticle Boxen oder Probecards.
Der modulare Aufbau und die flexiblen Dimensionierungsmöglichkeiten gewährleisten eine hohe Lagerleistung, die an Ihre verfügbare Grundfläche und Höhe angepasst werden kann.
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Probecard Stocker

Das Hochgeschwindigkeitslager ermöglicht die vollautomatische Lagerung von Probecards. Das System ist für maximale Dichte und flexible Reinraumpositionierung ausgelegt.
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Reticle Sorter

Der Reticle Sorter bietet ein vollautomatisches Handling von Reticlen und Reticle-Boxen für den Transfer und das Bestücken von Tools. 24/7, schnell und zuverlässig.
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HARI

Die HARI-Tool-Suite ermöglicht das vollautomatische Be- und Entladen von „Piggyback“-Gütern wie SMIF-Pods, in und aus modifizierten FOUP-Trägern, welche oft für deren Transport über Standard-FOUP-Hängetransporter (OHT) verwendet werden. Auf diese Weise ebnen die HARI-Tools den Weg für die Nachrüstung von manuellen Geräten zur Prozess- und Transportautomatisierung.
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Lifts and Level Shifter

Unsere Lift- und Level-Shifter-Produkte bieten eine breite Palette an vollautomatischen vertikalen Transportlösungen für FOUPs, Cassetts, PODs oder Boxen.
Vom Level Shifter zur Überwindung baulicher Höhenunterschiede, über luftgelagerte Short Lifts und Flex Lifts für Höhen bis zu 30m. Zusätzliche, frei konfigurierbare manuelle Anschlüsse ermöglichen maximale Flexibilität für Ihren Materialfluss.
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