Lösungen
MPHS LINEAR STOCKER
Der High-Speed-Stocker ermöglicht die vollautomatische Lagerung von FOUPS, Kassetten oder Retikelboxen. Das System ist für maximale Packungsdichte und flexible Reinraumpositionierung ausgelegt.
LONG TERM STORAGE
Unser Long Term Storage Systeme bieten eine umfassende Lösung für die automatisierte Lagerung von FOUPS, Kassetten, Reticle Boxen oder Probecards.
Der modulare Aufbau und die flexiblen Dimensionierungsmöglichkeiten gewährleisten eine hohe Lagerleistung, die an Ihre verfügbare Grundfläche und Höhe angepasst werden kann.
Probecard Stocker
Das Hochgeschwindigkeitslager ermöglicht die vollautomatische Lagerung von Probecards. Das System ist für maximale Dichte und flexible Reinraumpositionierung ausgelegt.
Reticle Sorter
Der Reticle Sorter bietet ein vollautomatisches Handling von Reticlen und Reticle-Boxen für den Transfer und das Bestücken von Tools. 24/7, schnell und zuverlässig.
HARI
Die HARI-Tool-Suite ermöglicht das vollautomatische Be- und Entladen von „Piggyback“-Gütern wie SMIF-Pods, in und aus modifizierten FOUP-Trägern, welche oft für deren Transport über Standard-FOUP-Hängetransporter (OHT) verwendet werden. Auf diese Weise ebnen die HARI-Tools den Weg für die Nachrüstung von manuellen Geräten zur Prozess- und Transportautomatisierung.
