Referenzen – Sondermaschinenbau
Regalbediengeräte für 300mm Wafer-Cassetten (FOUPs)
Das RBG300 ist ein Regalbediengerät für die Lagerung von Transportbehältern für 300mm Wafer (FOUPs, SEMI-Standard E47.1) mit einer Kapazität von 832 Plätzen. Durch den modularen Aufbau können sowohl Länge, als auch Höhe an die lokalen Anforderungen angepasst werden, wodurch zusätzliche Kapazitäten geschafft werden können. Das RBG300 kann über eine semikonforme Schnittstelle (SEMI-Standard E88, Stocker-SEM) in ein MES-System eingebunden werden.
Für das Ein- und Auslagern verfährt die Handlingseinheit auf einer ca. 35m langen Linearachse und greift auf die beidseitig stehenden Regale mit ihren 6 Etagen zu.
Der An- und Abtransport der FOUPs erfolgt über ein stirnseitiges Conveyor-System oder über einen manuellen Serviceport. Die Stirnseiten des RBG300 sind mit Servicezugängen ausgestattet.
Das RBG300 ist für Reinraumanwendungen konzipiert und kann damit auch in Reinräumen betrieben werden.
Weitere Varianten stehen zur Verfügung, bzw. befinden sich momentan in der Entwicklung:
- RBG200 für die Lagerung von 200mm Wafercassetten
- RBGReticle für die Lagerung von Reticle-Transportboxen