Referenzen – Bildverarbeitung

OPTISCHES WAFERMAPPING

Mithilfe mehrerer gekoppelter Kameras und eines speziellen Beleuchtungssystems, ist es mit diesem System möglich die Wafer-Belegung einer größeren Anzahl an Slots (in diesem Fall ein Boot mit bis zu 168 Wafern) schnell und in einem einzigen Schritt zu erfassen. Dazu sind keine mechanisch beweglichen Komponenten erforderlich. Auch Fehlbelegungen (cross-slotted/double-slotted) können durch das System erkannt werden, um somit eine vollständige Wafer-Map zu generieren. Die Anbindung erfolgt über eine TCP/IP-Schnittstelle direkt an den Roboter. Eine MES-Integration wäre möglich.