Referenzen – Sondermaschinenbau

FlexLift

Der FlexLift verbindet Transportsystemkomponenten über mehrere Etagen miteinander und befördert Transportbehälter für 300mm Wafer (FOUPs, SEMI-Standard E47.1) über einen maximalen Hub von 20m. Die Ansteuerung erfolgt manuell über ein Bedienpanel oder vollautomatisch über digitale IOs. Durch sein flexibles Design können sowohl die Hublänge, als auch die Verwendung (manuelle Beladung durch Operator) einfach auf die lokalen Anforderungen angepasst werden.

Der FlexLift ist für Reinraumanwendungen konzipiert und kann damit auch in Reinräumen (ISO 6) betrieben werden.